Выпускаемое оборудование
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT 900 DUO
- Подробности
- Просмотров: 3832
Вакуумная установка VTT 900 DUO предназначена для нанесения упрочняющих, защитно-декоративных покрытий методом магнетронного и электро-дугового распыления из электропроводных тугоплавких материалов (Ti, Mo, Zr и др.).
Отличительная особенность данной вакуумной установки:
- наличие двух дверей, что позволяет существенно ускорить и облегчить загрузку напыляемых изделий;
- откачной патрубок выполнен по всей высоте камеры;
- возможность установки технологических источников в разных положениях.
Технические характеристики.
1. Внутренний диаметр камеры D=850 мм.
2. Высота камеры Н=1300 мм.
3. Предельный остаточный вакуум 2х10-3 Па.
4. Мощность, потребляемая установкой:
- в режиме откачки 11 кВт;
-в режиме нанесения покрытий от 40 до 65 кВт (в зависимости от применяемых источников)
Состав установки.
|
№п/п |
Наименование |
Кол-во |
|
1 |
Магнетронный испаритель с рабочей зоной до 1100 мм с источниками питания |
4 |
|
2 |
Возможна установка дуговых планарных испарителей с циркуляцией дуги с рабочей зоной до 1200 мм |
4 |
|
3 |
Ионный источник очистки и ассистирования |
1 |
|
4 |
Блок питания опорного/высокого |
1 |
|
5 |
Технологическая оснастка (возможна технологическая оснастка по согласованию с заказчиком) |
1 |
|
6 |
Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 600 ˚ С |
4 |
|
7 |
Форвакуумный агрегат 2 АВЗ 20/ НД 500 (возможна комплектация насосами немецкой фирмы PFEIFFER) |
1 |
|
8 |
Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НД 400 |
1 |
|
9 |
Затвор высоковакуумный с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки |
1 |
|
10 |
Система пневматическая на базе элементов SMC. |
1 |
|
11 |
Система гидравлическая на базе элементов SMC. |
1 |
|
12 |
Система управления на базе промышленного контроллера Siemens |
1 |
